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本文主要介紹了主動隔振平（píng）台在半導體行業的應用
光柵元件內部結構的微小缺陷，即使納米級別的光柵周期差（chà）異（yì）即可導（dǎo）致意想不（bú）到（dào）光線傳輸路徑，而（ér）K矢（shǐ）量的細（xì）微畸變即可引起光線傳播串（chuàn）擾，即可造（zào）成成像模糊以及色偏。而傳統的接觸式測量方（fāng）式容易劃傷膜層，且測量精度和效率也無法滿足日益增長的需求。卓立VHG-M光柵測試係統基於Littrow自準式入射結構（gòu），係統通過精密調整入射角與衍射光強（qiáng）反饋，實現0.02nm級光柵周期測試靈（líng）敏度。相較傳統（tǒng）透射電子顯微鏡、原（yuán）子力顯微鏡分析法，分辨率提升100倍，同時大幅（fú）提高測試效率及（jí）精準度。
本文探討了振動控製技術與精密平（píng）台（tái）在芯片製造中的關鍵作用，對比分析了主動與被動隔振係統的技術特點及應用場景。研究指出（chū），主動（dòng）隔振係統更適合先進製程（chéng）的低頻振動控製，而被動（dòng）隔振在高頻段更具成（chéng）本優（yōu）勢。結合高（gāo）精度平台和運（yùn）動控製係統，可（kě）顯著提升設備穩定性，為半導體製（zhì）造工藝（yì）提（tí）供可（kě）靠的精度保障。
卓立（lì）光機、激光和光譜產品在半導體行業的部分應用
卓立的三線（xiàn）擺TPR氣浮平台加上（shàng）韓國（guó）Park的桌麵式主動隔振台I4，為AFM應用提供主（zhǔ）機的主被動隔振方案
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