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歐庫睿因i4係列桌麵式(shì)主動隔振係統

桌麵式主動隔振平(píng)台,用於搭配掃(sǎo)描(miáo)電(diàn)子顯微鏡,六自由度主動(dòng)隔振
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產品概述

歐庫睿(ruì)因主動隔振台:為各型科學儀器實現主動隔振

 

歐庫睿因主動式隔振技(jì)術 高(gāo)精度設備的完美展現

自從高分辨(biàn)率測量和製造(zào)技術達到納米尺度以來,振動就一直是一個重(chóng)要問題。有效消除振動幹 擾是獲得精確和可重複(fù)測量(liàng)結(jié)果的關鍵。解決方法是將儀器與振動源隔離開來(lái)。典型的(de)振動來源可能 是:

· 建築物和地麵的振動(垂直:5-30 Hz, 水平:0.5-10 Hz)

· 聲學振動(>20 Hz)

· 機動設備和機器(10-500 Hz)

主動隔振(zhèn)的基本原理是通過產生反作用力對幹擾振動進(jìn)行主動補償

精選範(fàn)例

歐庫睿因主動隔振(zhèn)係統的工作原理

應用設備和承載台麵(miàn)由彈簧(huáng)支撐。其目的是實 現主動隔振所需的浮動狀(zhuàng)態。承載台麵可以向各(gè)個 方向移動。在工(gōng)作狀態中,桌麵上的應用(yòng)設備與環境(jìng)振動隔離。

振動由極其靈敏的壓電式加速度計檢測。傳感 器輸出信號由控製電路進行分析和處理,控(kòng)製電路 驅動電動執行器,電動執行器實時產生對抗振動(dòng)的 反作用力。主動隔(gé)振(zhèn)在6個自由度內有(yǒu)效。

主要特征

■ 相比於氣浮式(shì)隔振台,主動隔振台沒有低頻共振,即使在低頻範圍內也有(yǒu)出色的隔振性能。

■ 超快的穩定時間:低(dī)至0.3秒(普通被動隔振台的 穩(wěn)定時間為30秒(miǎo)至60秒)。

■ 主(zhǔ)動隔振台帶寬0.6/1Hz 至200Hz (遠超被動隔振台)。

■ 6個自由度主動(dòng)隔振。

■ 真正的主動隔振:及時產生反作用力(lì)來抵消振動。

■ 操作簡(jiǎn)單-按鈕式解決方案。

■ 設計緊湊,安裝簡便。

■ 高度的位置穩定性-1Hz 時固有剛度通常是被動隔振台的20到30倍。

■ 接(jiē)電即可,無需壓縮空氣。

■ 適用於將高分辨率測量設備與建(jiàn)築(zhù)振動隔(gé)離(lí)。

■ 廣泛的適用範圍:擁有標準化產品和用戶定製產品。

 VarioBasic 40搭配成像橢偏儀

i4 Large搭配3D輪廓儀

歐庫睿因i4 係列桌麵式主動(dòng)隔振係統
 


 

 

i4

i4  Medium

i4Large

尺寸

400x500x90mm

500x600x90mm

550x700x92mm

載重

0-120kg

0-105kg或40-150kg

0-105kg 或40-105kg

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