RTS- SEMR拉（lā）曼-電鏡聯（lián）用光譜（pǔ）測試係統

產品概述

拉（lā）曼電鏡光譜聯用技術

產品簡介

掃描（miáo）電子顯微鏡（SEM）是一種介於透射電子顯微鏡和光學（xué）顯微鏡之間的一種觀察手段。其（qí）利用聚焦的很窄（zhǎi）的高能（néng）電子束來掃描樣品，實（shí）現對物（wù）質微觀形貌表征的目的。具有景深大、分辨率高（gāo），成像直觀、立體感強、放（fàng）大倍數範圍寬以及待測樣品可在三維空間內進行旋轉和傾（qīng）斜等特點。拉曼技（jì）術在分（fèn）子級別上（shàng）提（tí）供樣品的化學結構、組分信息；而 SEM 可在（zài）納米尺度上提供高空間（jiān）分辨率的形貌圖像；SEM與拉曼光譜技術相結合，使用 SEM 觀察樣品形貌，並可獲取指定樣品點的拉曼光譜信息，同步獲取樣品材料表麵形貌、分子結構與化（huà）學組（zǔ）分等信（xìn）息。

典型應用

RTS- SEMR拉曼電鏡光譜係統

北京www.91光儀器有限（xiàn）公司全新推出的RTS- SEMR拉曼電鏡光譜（pǔ）係統集成場發射掃描電鏡與拉曼光譜係統於一體，是一款真正意義上實現國產拉曼光譜與掃描電鏡聯用的設備。拉曼電鏡通過快速、精確、高性能的拉（lā）曼分析，彌補了能譜儀、波譜儀等傳統電鏡（jìng）附件無法（fǎ）實現的分（fèn）子結構與成分觀察。尤其是針對有機結構（gòu）、碳結構、同分異構體、晶（jīng）體與無機相等多（duō）領域材料的信息表征，擴展了傳統掃描（miáo）電子顯微鏡的分析（xī）應用領（lǐng）域，例如礦（kuàng）物鑒別、高分子與製藥（yào）行（háng）業、鋰電行業（yè）、醫工交叉行業等，應用前景廣（guǎng）闊。

北（běi）京www.91光儀器有限公司推出的掃描電鏡-拉曼光譜聯用裝置采用“離軸”模式設計理念。“離軸”模式掃描（miáo）電鏡的電（diàn）子束與拉曼光譜的激光束不同軸,通過移動樣品台分別（bié）進行掃描電鏡（jìng）-能譜分析和顯微拉曼（màn）光譜分析，原位獲取樣品指定位置的形貌信息和化學成分（fèn）信息。

RTS-SEMR 拉曼電（diàn）鏡（jìng）聯用光（guāng）譜係統架構

RTS- SEMR拉曼電鏡光譜係統，電（diàn）鏡擁有大視野及納（nà）米級分辨率，是一個（gè）樣品微觀形貌分析平台，係統耦合拉曼共聚焦光路進入真空樣品倉（cāng），實現了樣品在電子束和激光束之間的快速切換，在滿足樣品表征觀察的同時，也能夠實現納米級分辨率的化學成（chéng）分和空間結（jié）構分析（xī），充分發揮掃描電鏡與拉曼兩者的應用優勢。

拉曼集成掃描（miáo）電子顯微鏡采用平行雙束方案，搭載高精度複合位移台可實現樣品在（zài）拉曼光（guāng）軸和電子（zǐ）束光軸之間快速、精確、穩定的（de）切換，拉曼掃描範圍高達2.5 mm。

獨特的係（xì）統及產品設（shè）計保證了操作（zuò）性、易用性、普適性，用戶（hù）可在電鏡中尋找感興趣（qù）的材料特征，得到高分辨的掃描結果後，一鍵切換（huàn）至拉曼光路下進行該區域的快速/高精度的光（guāng）譜掃描，隨後得到高匹配程度的拉（lā）曼渲染聯用效果。

拉曼渲染結果的像素與光譜數據對（duì）應關係可通過軟件程序直接提取，提供進（jìn）行便捷的結（jié）果（guǒ）解析。

拉曼光譜集（jí）成方案提供了多種配置供用（yòng）戶選擇，例（lì）如激光波長、光譜儀焦長、光柵密度、物鏡等光學核心配置，充分滿（mǎn）足應用及市場的需求。

掃描式電（diàn）子顯微鏡係統配置多種類型探測（cè）器，可實（shí）現二次電子和背散射電子同時成像，兼容多種應用模式，可覆蓋生（shēng）命（mìng）科學（xué）、材料科學、地質科學等多學科科研（yán）應用場（chǎng）景。

標配五軸（zhóu）高精度（dù）運動平台及自主（zhǔ）設計樣品（pǐn）載台，可實現多個釘台同（tóng）時放（fàng）樣或單一（yī）大尺寸樣品觀（guān）測。

性（xìng）能優（yōu）勢

· 高靈敏度,高空間分辨（biàn）率

· 寬行（háng）程納米壓電台,單幀大視野

· SEM+Raman深度（dù）耦合（hé）,統一操作界麵

· 國產自主,核心技術正（zhèng）向研（yán）發

· 平行聯用方案高精度樣品（pǐn）台

· 一鍵切換光（guāng）路高效聯（lián）用成像

· 軟件提取數據圖像直（zhí）接解析（xī）

· 定製化配置滿足市場多樣化需求（qiú）
典型參數

	激光波長	532nm（＞100mW）
	拉曼頻移範圍	60-6000cm-1@532nm
	光譜分辨率	<1cm-1
	信噪比	>20:1
	空間分辨率	橫向分辨率（lǜ）:<500nm@532nm 激光縱向分辨率（lǜ）:<2um@50um 針孔，532nm 激光；＜1um@10um 針孔，532nm 激光
光譜儀	500 mm 焦長，Czerny-Turner 式全自動切換
光譜CCD探（tàn）測（cè）器	2000*256 像素，背照式深耗盡芯（xīn）片，QE>90%，可見近（jìn）紅外專用
光學物鏡（jìng）	NA=0.9, WD=10mm, 10X
白光源	鹵素（sù）燈
樣品台	類（lèi）型：步進電機+壓電陶瓷掃描範圍：2.5mm*2.5mm

整機電鏡（jìng）	FE-SEM F4000		FE-SEM F6000
電（diàn）子槍	肖特基熱場發射式電子槍		肖特基熱（rè）場發射式電子槍（qiāng）
分辨率	0.9nm@30kV 1.4nm@15kV		1.0 nm@30 kV 1.2nm@15kV 1.5 nm@l kV(減速模式)
加速電（diàn）壓	0.02-30kv		0.02-30kv
束流（liú）	1pA~40nA		5 pA~30 nA (200 nA可選)
放大倍數	1x~1,000,000x(底（dǐ）片放大（dà）倍數,1~15x光學放大)		1x~1,000,000x(底片放大倍數,1~15x光學放（fàng）大)
工作環境要（yào）求		溫度20±3/℃；濕度≤80%
		工（gōng）作電壓AC220V、50/60Hz
		最大功耗4500W

RTS- SEMR拉曼-電鏡聯用光譜測（cè）試（shì）係統

用戶速遞|大連理工楊德正教授團隊：納秒火花放電中超快擊穿過程的研究進展（zhǎn）

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