RTS2-V超高真（zhēn）空（kōng）原位光譜檢測係統_北京卓（zhuó）立漢光儀器有（yǒu）限（xiàn）公司

產（chǎn）品概（gài）述

超（chāo）高真空光學（xué）顯微鏡/光譜（pǔ）儀（yí）測試係統
Ultra-high Vacuum (UHV) Optical / Spectroscopic Microscope System

將光學顯微鏡或光譜儀模組對接於超高真空係統，可以作（zuò）為超高真空互聯係統的（de）檢（jiǎn）測節點之（zhī）一（yī），用於材料和器件在（zài）不同製備環節（jiē）之間對外延的薄膜或者轉移沉積的二維材料等樣品的質量進行快速無損檢測。

產（chǎn）品特性和核心技術

模塊化設計，光學部分相（xiàng）對獨立。

• 包含光學顯微鏡、激光離焦量傳感器、自動調焦和共（gòng）聚焦耦（ǒu）合光路等等在內的全部光學部分全部集成（chéng）於一個光（guāng）學模組之中，作為整體置於超高真空腔體之外，透（tòu）過視窗（chuāng）玻璃聚焦於真空腔內的樣品表麵。

• 不汙染真空內（nèi）環境。

• 超高（gāo）真空係統烘烤時可（kě）以整體取走（zǒu），並在（zài）烘烤完畢之後方便地定位（wèi）安裝。

• 可根據用戶需求，靈活配置激光器、單色儀、探測器和物鏡等光學組件（jiàn）。

視窗（chuāng）玻璃厚度像差的補償校正。

• 拉曼光譜（pǔ）的（de）高（gāo）收集（jí）效率和分辨（biàn）率。

性能參數（shù）：

顯微鏡模（mó）塊	高分辨鏡頭	50×，半複消色差物鏡空間分辨率 < 2 μm
顯微鏡模（mó）塊	長工（gōng）作距離鏡頭	工作（zuò）距離：~ 120 mm 空（kōng）間分辨率：~ 5 μm
拉（lā）曼激發和收集模塊	激光光源	波長：532 nm，功率：50 mW。
	自動對焦	對焦精度<0.2微米（mǐ）
	拉曼頻移範圍	80 ~ 9000 cm-1
樣品移動和掃描平台	步進電機台	整步分辨（biàn）率 1 μm。
樣品移動和掃描平台	壓電陶瓷台	最小（xiǎo）可移動步長 < 10 nm
光譜儀和探測器	光譜（pǔ）儀（yí）	320 mm焦長單色儀，接麵陣探測器。分辨率 < 2.0 cm-1。
軟件（jiàn）	控（kòng）製軟件	可選擇區域或指定點位自動逐點光譜采集或拍照。
軟件（jiàn）	Mapping數據分析軟件	圖像分析：尺寸測量（liàng）缺陷識別光譜分析：對（duì）光譜峰位、峰（fēng）高和半高寬等進行擬合。計算應力（lì）、晶化率、載（zǎi）流（liú）子濃度等信息。主成分分析（PCA）和k-均值聚類處理模塊。將擬合結果以二維圖像（xiàng）方式顯示。

注：上述表格中的激光（guāng）波長、物鏡和單色儀等（děng）部件可以根據客戶需求調整（zhěng）。

測試案例：

超高真空共聚焦拉曼光譜測試

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RTS2-V超高真空原位光譜（pǔ）檢測係統