ZVI-VB係列真空主動（dòng）隔振（zhèn）平台特點
• 空（kōng）氣彈簧支撐，磁負剛度機構
• 機械式倒立擺負剛度機構並（bìng）聯正剛度機構
• 適用1E-4Pa的真空環境
• 6自由度主動隔（gé）振
• 主動隔振帶寬低至0.5Hz起
• 標品負載最大支持7000KG
• 水平向電機峰（fēng）值推力高達160N
• 總體規（guī）格（長、寬、高）多種（zhǒng）規格可選（xuǎn）
• 核心控（kòng）製係統全部自研
• 核心部件國產化
技術指標
• 主動隔（gé）振帶寬：0.5-150Hz
• 台麵穩定（dìng）性：≤±5um
• 傳遞率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-50dB@10Hz
• 水平向電機峰值推力高達270N
• 係統支持最大（dà）功率400W
• 台（tái）麵平麵度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm
NTBK：0.1mm/600mm×600mm
大理（lǐ）石台麵（miàn）：0級、1級、2級、3級可選（GB/T20428-2006）
• 台麵厚度：100/200/300mm
• 孔徑：可定製孔徑
• 孔距：可定（dìng）製孔距或（huò）特殊（shū）位置打孔
• 標品單腿最大承載（zǎi）能力：1800Kg
命名規則
選型表：（M、K、P參考具體台麵信息）
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產品型號 |
整體規格（L*W：mm） |
台麵（miàn）上（shàng）負載要求（kg） |
台麵（miàn）厚度（mm） |
隔振器規格 (L*W*H:mm) |
單腿（tuǐ）重量 |
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ZVI-VB-30-15M |
3000×1500 |
100-2000 |
400 |
1060×900×202 |
40kg |
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型（xíng）號 |
尺寸（ mm） |
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L |
W |
T |
H1 |
H2 |
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ZVI-VB-30-15M |
3000 |
1500 |
400 |
900 |
500 |
• 光刻機：確保（bǎo）光（guāng）刻膠的精確塗布和曝光。
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