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一體式主動隔振平台

一體式隔振係統,占用空(kōng)間小、高集成度的主動隔振平(píng)台

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產品概述

FSD快速整(zhěng)定(dìng)平台係(xì)列主動隔振係統

特點:

• 一(yī)體式隔振(zhèn)係統,占用空間小

• 單向最高(gāo)提(tí)供1280N推力

• 6自由度主動(dòng)隔(gé)振

• 主動隔振帶寬低至0.8Hz起

• 自研控製係統

• 零部件國產化

型號

FSD100A

FSD100B

外形尺寸

1000×700×150

1020×875×166

單腿自重

138kg

211kg

主支撐體

鋼彈簧

4腿係統承載

重量

1000kg

1000kg

垂向傳遞率

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

≤-3dB@2Hz

≤-12dB@5Hz

≤-25dB@10Hz

水平向電機 峰值推力

640N

1280N

適用領域(yù)

先進量檢測設備


PAD一體式平台係列主動(dòng)隔振係統
 
 

PAD一體式平台係列主動隔振係統特點:

• 4個隔振單元組(zǔ)成一體(tǐ)式隔 振係統,便攜安(ān)裝(zhuāng)

• 支撐單元多樣化,彈簧(huáng)、 氣浮(fú)、磁浮可選

• 6自由度主(zhǔ)動隔(gé)振

• 主動隔振帶寬低至0.8Hz起

• 自研控製係統

• 零部件國產化

 

型號

PSQ-BHJI

PSQ-BLFT

PFQ-BTFS

miniPSQ-

BHDD

PSQ-DHLL

外(wài)形尺寸

1060×900×200

2020×1370×295

2000×2000×390

400×450×280

定製

自重(chóng)

121kg

2400kg

5000kg

17kg

130kg*

主支撐體

鋼彈簧

鋼(gāng)彈簧(huáng)

空氣彈簧

鋼彈簧

鋼(gāng)彈簧

係統承載重量

600-1100kg

1200-2000kg

2000-2500kg

50-110kg

600-1100kg

垂向傳(chuán)遞率

≤-12dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@5Hz

≤-15dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-15dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-10dB@2Hz

≤-20dB@5Hz

≤-30dB@10Hz

≤-20dB@2Hz

≤-35dB@5Hz

≤-40dB@10Hz

適用領域

SEM 、TEM 、ACTEM等各類電鏡,桌(zhuō)麵式精密儀器等(děng)

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