FSD快速整(zhěng)定(dìng)平台係(xì)列主動隔振係統
特點:• 一(yī)體式隔振(zhèn)係統,占用空間小
• 單向最高(gāo)提(tí)供1280N推力
• 6自由度主動(dòng)隔(gé)振
• 主動隔振帶寬低至0.8Hz起
• 自研控製係統
• 零部件國產化

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型號 |
FSD100A |
FSD100B |
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外形尺寸 |
1000×700×150 |
1020×875×166 |
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單腿自重 |
138kg |
211kg |
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主支撐體 |
鋼彈簧 |
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4腿係統承載 重量 |
1000kg |
1000kg |
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垂向傳遞率 |
≤-3dB@2Hz ≤-12dB@5Hz ≤-25dB@10Hz |
≤-3dB@2Hz ≤-12dB@5Hz ≤-25dB@10Hz |
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水平向電機 峰值推力 |
640N |
1280N |
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適用領域(yù) |
先進量檢測設備 |
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PAD一體式平台係列主動隔振係統特點:
• 4個隔振單元組(zǔ)成一體(tǐ)式隔 振係統,便攜安(ān)裝(zhuāng)
• 支撐單元多樣化,彈簧(huáng)、 氣浮(fú)、磁浮可選
• 6自由度主(zhǔ)動隔(gé)振
• 主動隔振帶寬低至0.8Hz起
• 自研控製係統
• 零部件國產化
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型號 |
PSQ-BHJI |
PSQ-BLFT |
PFQ-BTFS |
miniPSQ- BHDD |
PSQ-DHLL |
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外(wài)形尺寸 |
1060×900×200 |
2020×1370×295 |
2000×2000×390 |
400×450×280 |
定製 |
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自重(chóng) |
121kg |
2400kg |
5000kg |
17kg |
130kg* |
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主支撐體 |
鋼彈簧 |
鋼(gāng)彈簧(huáng) |
空氣彈簧 |
鋼彈簧 |
鋼(gāng)彈簧 |
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係統承載重量 |
600-1100kg |
1200-2000kg |
2000-2500kg |
50-110kg |
600-1100kg |
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垂向傳(chuán)遞率 |
≤-12dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@5Hz |
≤-15dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@10Hz |
≤-15dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@10Hz |
≤-10dB@2Hz ≤-20dB@5Hz ≤-30dB@10Hz |
≤-20dB@2Hz ≤-35dB@5Hz ≤-40dB@10Hz |
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適用領域 |
SEM 、TEM 、ACTEM等各類電鏡,桌(zhuō)麵式精密儀器等(děng) |
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