
| 產品參數 | LS105x.Lab |
| 1. 特殊版本 | .HV,高真空版本; |
| .UHV,超高真空(kōng)版本; | |
| .NM,完全無磁版本 | |
| 2. 外形尺寸 | 105 × 105 × 20 mm |
| 3. 主體材料 | 標準版 鋁合金,鋼:630 g; |
| .HV .UHV 純鈦(tài),鋼:910 g; | |
| .NM 純鈦,陶瓷:770 g | |
| 4. 運動行程 | 60 mm(加長版本最高可至 200 mm) |
| 5. 速度範圍 | 默認:0.1 μm/s ~ 20 mm/s; |
| .HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 2 mm/s | |
| 6. 驅(qū)動力 | 3 N |
| 7. 保持力 | 5 N |
| 8. 水平方向使用最大負載 | 4 kg |
| 9. 雙向位置重複精度 | ±100 nm |
| 10. 全(quán)行程俯仰 / 偏擺 | 0.2 mrad |
| 11. 最小步優(閉環) | 5 nm |
| 12. 位置傳感器類型 | 光學位置傳感器 |
| 13. 位置傳感器分辨率 | 標準版本 2 nm;.adv 版本 0.5 nm;經濟版本 .E 50 nm |
| 14. 線纜 & 接頭 | 默認:屏蔽線纜 D–Sub15; |
| .UHV 版本(běn):Kapon 漆包(bāo)線,D–Sub15 (PEEK) | |
| 15. 控製器規格 | MC-Newton.S 係(xì)列 |
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