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LS105x.Lab

“Lab係列"線性位移台一LS105x.Lab

超安靜運動 斷電位(wèi)置自(zì)保持 納米級分辨率更大負載能力 ·內置高精度(dù)光學位置(zhì)傳感器 可與(yǔ)旋轉台,搖擺台等(děng)自由堆疊組合
 
 
 
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產(chǎn)品概述
“Lab係列(liè)"線性位移台一LS105x.Lab產品特色
• 超安靜運動(dòng)
• 納⽶級(jí)分辨率(lǜ)
• 斷電位置⾃保持
• 更⼤負載能(néng)⼒
• 內置⾼精度光學位置傳感器
• 可與旋轉台,搖擺台等⾃由堆疊組合
 
“Lab係列"線性位移(yí)台一LS105x.Lab產品尺寸
 
“Lab係列(liè)"線性位(wèi)移台一(yī)LS105x.Lab產品參數
產品參數 LS105x.Lab
1. 特殊版本 .HV,高真空版本;
.UHV,超高真空(kōng)版本;
.NM,完全無磁版本
2. 外形尺寸 105 × 105 × 20 mm
3. 主體材料 標準版 鋁合金,鋼:630 g;
.HV .UHV 純鈦(tài),鋼:910 g;
.NM 純鈦,陶瓷:770 g
4. 運動行程 60 mm(加長版本最高可至 200 mm)
5. 速度範圍 默認:0.1 μm/s ~ 20 mm/s;
.HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 2 mm/s
6. 驅(qū)動力 3 N
7. 保持力 5 N
8. 水平方向使用最大負載 4 kg
9. 雙向位置重複精度 ±100 nm
10. 全(quán)行程俯仰 / 偏擺 0.2 mrad
11. 最小步優(閉環) 5 nm
12. 位置傳感器類型 光學位置傳感器
13. 位置傳感器分辨率 標準版本 2 nm;.adv 版本 0.5 nm;經濟版本 .E 50 nm
14. 線纜 & 接頭 默認:屏蔽線纜 D–Sub15;
.UHV 版本(běn):Kapon 漆包(bāo)線,D–Sub15 (PEEK)
15. 控製器規格 MC-Newton.S 係(xì)列
 
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