| 產品參數 | LS35x.Lab | LS35x.Lab.E | |
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1 |
特殊版本 |
.HV，高真空版（bǎn）本； .UHV，超高真空版本； .NM，完全無磁版本； |
⽆ |
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2 |
外形尺寸 |
35 × 35 × 12 mm |
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3 |
主體材料 |
標準版，.HV，.UHV 不鏽鋼：85 g；NM，純鈦；65 g |
不鏽鋼；85 g |
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4 |
運動行程 |
20 mm |
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5 |
速度範圍 |
默認：0.1 μm/s ~ 20 mm/s； .HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 2 mm/s |
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6 |
驅動（dòng）力 |
典型（xíng）值：2 N ；可選配：4 N |
2 N |
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7 |
保持力 |
典（diǎn）型值：3 N ；可選配（pèi）：5 N |
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8 |
水平方向使用最（zuì）大（dà）負載 |
1 kg |
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9 |
豎直方向使用最大負載 |
默認（rèn）：100 g，可選配：250 g |
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10 |
雙向位置重複（fù）精度 |
±100 nm |
±300 nm |
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11 |
全行程俯仰/偏擺 |
0.3 mrad |
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12 |
最小步伐（fá）（閉環) |
5 nm |
100 nm |
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13 |
位置（zhì）傳（chuán）感（gǎn）器類型 |
光（guāng）學位置傳感器 |
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14 |
位置傳感器分辨率 |
標準版本 2 nm；.adv 版本 0.5 nm； |
50 nm |
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15 |
線纜 & 接（jiē）頭 |
默認：屏（píng）蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK) |
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16 |
控製器規格 |
MC-Newton.S係列 |
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13810146393
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