| 參數項 | LS65x.Lab | LS65x.Lab.E |
| 特殊版本 | .HV, 高真空版本；.UHV, 超高真空版本；.NM, 完全無磁版本 | 無 |
| 外形尺寸 | 65 × 65 × 13 mm | 65 × 65 × 13 mm |
| 主體材料 | 標準版 鋁合金（jīn），鋼：160 g；.HV, .UHV 純鈦（tài），鋼：260 g；.NM, 純鈦，陶瓷：110 g | 鋁合金，鋼：160 g |
| 運動行程 | 30 mm | 30 mm |
| 速度範圍 | 默認: 0.1 μm/s ~ 20 mm/s；.HV & .UHV 版本: 0.1 μm/s ~ 2 mm/s | |
| 驅動力 | 典型值: 2 N；可選配（pèi）: 4 N | |
| 保持力 | 典型值: 3 N；可選配: 5 N | |
| 水（shuǐ）平方向使用最大負載 | 2 kg | |
| 豎直方向使用最大負載 | 默（mò）認（rèn）: 100 g；可選配: 250 g | |
| 雙向位置重複精度（dù） | ± 100 nm | ± 300 nm |
| 全行程俯仰/偏擺 | 0.3 mrad | 0.3 mrad |
| 最小步伐 (閉環) | 5 nm | 100 nm |
| 位置傳感（gǎn）器類型（xíng） | 光學位置（zhì）傳感器 | 光（guāng）學位置傳感器 |
| 位置傳感器分辨率 | 標準版本 2 nm；adv 版（bǎn）本 0.5 nm | 50 nm |
| 線（xiàn）纜 & 接頭（tóu） | 默認: 屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本: Kapton漆包線, D-Sub15 (PEEK) | |
| 控製器規格 | MC-Newton.S係列 | |
13810146393
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