DSR500
產（chǎn）品簡介
微納（nà）光電成像測試係統是（shì）一種利用顯微成像手段，通過不同波長激光進行探測，分析表征光電子器件的短路電流分布，表麵缺陷， 反射率等參數。並通過掃描獲（huò）得的圖像，分析各種參（cān）數的平麵均勻性，為光電器件的結構優化提供參考。
www.91光經過多年研究，推（tuī）出基於振鏡顯微係統的LBIC 係統。本設備有著快速掃描，高（gāo）分辨等特點，可（kě）以廣泛應用於：單晶矽、多晶矽、非晶矽、有機半導體（tǐ）、染料（liào）敏（mǐn）化等各類太陽能電池（chí）研究，也可以應用於GaN 等光電器件的研究。對光電探測（cè）器的量子效率， 器件的（de）電阻分布特征，研究太陽能電池光（guāng）生電流的不（bú）均勻性（xìng），研（yán）究器件吸收和電荷生成的微區特性，以及光電材料界麵，半導體結區的品質分布等提供可靠的分析數據。
係統結構描述：
激光通過掃描透鏡，掃描振鏡，成像透鏡，由顯（xiǎn）微鏡（jìng）聚焦到樣品（pǐn）表麵，激光激發樣品產生（shēng）光電流，光電流信號通過探針引出至（zhì）電流源（yuán）表，再通過軟件在軟件中讀出。掃描時，振鏡是（shì）通過電壓（yā）控製器控製光束的偏轉角度，激光的光斑在樣品的XY 方向（xiàng）上掃描移動（dòng）， 軟件記錄每一個激光（guāng）聚焦（jiāo）光斑的位置和（hé）其對（duì）應的電流值，在軟件上同步描繪出光電流成像圖，顯示了樣品的電流（liú）分布。由於采用（yòng）振鏡結構（gòu），光斑（bān）移動在物（wù）鏡（jìng）處是不同位置入射，而不是不同角（jiǎo）度入射，因（yīn）此可以保證入射到樣品不同位（wèi）置的光（guāng）斑模式不會變化
整個係統的結構如下圖所示：包含
■ 光源（激光器或者連續光（guāng）源），係統原理結（jié）構（gòu）如下圖所示（shì）：
下圖為光斑（bān）在掃描設定不同（tóng）位置模式沒有變化
產品特點（diǎn）
■ 多（duō）路激光波長可（kě）選；基本參數
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激光器（qì）（光源） |
標（biāo）配532nm激光器，能量穩定性1%@4小時 可（kě）選配（pèi）2路激光器用於光電流測試（shì） |
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顯微鏡模塊 |
反射式/透射式LED照明（míng） 物鏡：標配（20X， WD=7.5mm） 超長工作距離 最大（dà）掃描範圍：260 x 200 μm （20x物鏡下） 位置重（chóng）複性：小於1 μm 最小掃描步長：0.2μm 步長可選範圍：0.2-30μm 激光光斑：2μm |
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數據采集 |
電流源表：Keithley 2450 測（cè）量範圍：1nA ・ 1A 暗噪聲（shēng）：50pA 分辨率：20fA 準確度： 0.03% |
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探針台模塊 |
直徑65mm真空吸附卡盤 探針座和樣品整體二維移動，方便樣品位置與光斑位置重合 樣品位置單獨二維移動，方便同類樣品更換 樣品位置移動行程25mm，分辨率5μm 探針座：XYZ行程12mm，分辨（biàn）率0.7μm 探針：鎢（wū）針，直徑（jìng）5μm，10μm，20μm可選 |
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軟件 |
光電流掃描（Mapping）：可以設定固定的（de）電壓，逐點獲取電流值 I-V曲線（xiàn）掃描（Mapping）：可以設（shè）定指定的電壓區間，逐點獲取I-V曲線 指（zhǐ）定區域掃描（miáo）（Mapping） |
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光譜響應度測試（選（xuǎn）配） |
光譜範圍（wéi）200-1100nm，可以擴（kuò）展到（dào）2500nm 光譜（pǔ）響應度曲線 量子效率曲線 偏壓設置（zhì）功能 |
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激光器（選項（xiàng）） |
波長：405nm或者（zhě）635nm可選，其他波長谘詢銷售 能量穩定性：小（xiǎo）於1%@2個小時 功率：10mW和30mW（可選） |
主機：i7，16G 內（nèi）存，256G 固態+2T 機械硬盤， 2G 獨顯；21.5 英寸電腦顯示器
軟件功（gōng）能：
閾值處理；局部放大，等高線顯示，三維顯示，單（dān）點測試數據顯示（shì），導出txt，excel 數據等。
軟件功能說明：
軟件測試界麵如下圖：
數據（jù）分析軟件界（jiè）麵如下圖所（suǒ）示：
測試案例：
測試條（tiáo）件：
圖A, 樣品掃描（miáo）區域的CCD 監控（kòng）圖，圖B, 樣品mapping 數據處（chù）理等高線圖以及三維圖。
2. 納米材料-WSe2：有（yǒu）效麵積25X10um
測試條件（jiàn）：
圖A, 樣品監控（kòng）區域成像（xiàng）圖，圖B, 樣品掃描區域的CCD 監控圖，圖C, 樣品掃描（mapping）數據處理等高線圖以及三維圖。
選（xuǎn）型列表：
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規格/型（xíng）號 |
DSR500-LBIC |
DSR500-LBIC-RDB |
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激光器 |
波長532nm，功（gōng）率：30mW；穩定性（xìng）：1%@2小時 |
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物鏡 |
20X@奧林（lín）巴斯，WD=7.5mm，波長範圍：350-750nm |
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探針台 |
2個探針座 |
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數據采集（jí） |
Keithley 2450 |
無 |
13810146393
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