
| 產品參數 | LS80z.Lab |
| 1. 特殊版本 | .HV,高真空版(bǎn)本; |
| .UHV,超(chāo)高真空版(bǎn)本; | |
| .NM,完全無磁版本 | |
| 2. 外形尺寸 | 80 × 80 × 40 mm |
| 3. 主體材料 | 標準版 鋁合金,鋼:720 g; |
| .HV .UHV 純(chún)鈦,鋼:840 g; | |
| .NM 純鈦,陶瓷:640 g | |
| 4. 運動行程 | 10 mm |
| 5. 速度範圍 | 默認:0.1 μm/s ~ 3 mm/s; |
| .HV & .UHV 版本:推薦使(shǐ)用 0.3 mm/s | |
| 6. 保持力 | 15 N |
| 7. 水平方(fāng)向使用最大負載 | 典型值:1 kg;可選配:3 kg |
| 8. 雙向位置重複精度 | ± 150 nm |
| 9. 全行程俯仰 / 偏擺 | 0.3 mrad |
| 10. 最小步優(閉環) | 5 nm |
| 11. 位置傳感器類型 | 光學位(wèi)置傳感器 |
| 12. 位置傳感器(qì)分(fèn)辨率(lǜ) | 標準版本(běn) 2 nm;.adv 版本 0.5 nm;經濟版本(běn) .E 50 nm |
| 13. 線纜 & 接頭 | 默(mò)認:屏蔽線纜 D–Sub15; |
| .UHV 版本:Kapon 漆包線,D–Sub15 (PEEK) | |
| 14. 控製器規格 | MC-Newton.S 係列 |
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