深紫外飛秒激光器_北京卓（zhuó）立漢光儀器有限公司（sī）

產品概（gài）述

產（chǎn）品概述

深紫外飛（fēi）秒（miǎo）激光器概述

以可調諧的（de）鎖模鈦寶石激（jī）光器作為基頻光源，經過多級倍頻/和頻來產生192-200nm波段的深紫外超短脈（mò）衝（chōng）激光（圖1）。

圖1. 192-200 nm超短脈衝激光（guāng）產（chǎn）生方案示（shì）意圖

基於基頻光源的不同選擇，激光（guāng）波（bō）長還可以實現大範（fàn）圍的調諧，最（zuì）大範圍可覆蓋192-300 nm波段，且連續可調。另外（wài）還可輸出覆（fù）蓋二次諧波(375-500 nm)、三次（cì）諧波（bō）（（230-300 nm）波段的可見、紫（zǐ）外超短脈衝激光。

另外，基頻光源也可選擇1 μm波段（1064 nm、1030 nm）鎖（suǒ）模激光器，可獲得四次諧波（~260 nm）和五次諧波（~210 nm）的紫外激光。

圖2. 激光器（qì）實物圖（192-300 nm連續調諧，尺寸（cùn）1300*600*200mm3，不含基頻源）

技術特點：
· 覆蓋深紫外、紫外、可見光的大範圍（wéi）波長調諧
· 電動（dòng）控製（zhì）波（bō）長調諧（xié）
· 高指向穩定性
· 圖形化人機交互界（jiè）麵（miàn）
· 波長可擴（kuò）展（zhǎn）

深紫外飛秒激光器應用領域（yù）：
· 超快光譜探測
· 高精密激光加工
· 熒光壽命探測
· 非線性光學

2. 基頻光源（yuán）技術參數

典型的基（jī）頻光源可選擇Coherent公司CHAMELEON 係（xì）列鈦（tài）寶（bǎo）石（shí）激光器或Spectra-Physics公司的（de）Maitai HP係列激光器。主要技術指（zhǐ）標如下：

技術指標	典型參數
波長	780 nm或波長可調諧（xié）	根據需求（qiú）固定激光波長（zhǎng），或可調波長
脈衝寬（kuān）度	100 fs、50 fs
重（chóng）複頻率	80 MHz
光束（shù）質量	M2<1.3
功率	~2.5W@780 nm	取（qǔ）決於最終需求的深紫外激光功率，2.5W基頻光對應（yīng）於約4mW的195nm激光功（gōng）率

3. 輸（shū）出技術指標

（1）195 nm激光輸出功（gōng）率約4 mW（基頻功率（lǜ）>2.5W@780nm）.

（2）195 nm激光輸出功率約0.5 mW（基（jī）頻功率>1.4W@780nm）

技（jì）術指標	典（diǎn）型參數
波長	195nm或波長可調諧192-300nm	根據（jù）需求固定激光波長，或可調波長
脈衝寬（kuān）度	~500fs@266nm	基頻光脈衝寬度100fs時（shí）測（cè）試結果
重複頻率	80MHz
功率	~4mW@195nm	典型調諧功（gōng）率見下圖（（基於MaitaiHP基頻源測試）

圖3.各波段激光輸出功（gōng）率：

（a）二次諧（xié）波；（b）直接四（sì）次諧波；（c）三次諧波；（d）四次諧波（和頻）。

深紫外飛秒激光（guāng）器

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