STS係列拉曼/熒光/光電流綜合（hé）測試係（xì）統

產（chǎn）品概述

基於RTS2 顯微係統而搭建，集成拉曼/熒光/光電流原位測（cè）試功能（néng）。該係（xì）統可原位探測拉曼、熒光及光電（diàn）流信號。配合（hé）高精度微米電動位移台，實現（xiàn）Raman Mapping，PL Mapping以及激光誘導光電流成像（LBIC)。深度表征（zhēng）材料內部的（de）分子振（zhèn）動（dòng）能級與轉動（dòng）能級結構（gòu）信息（xī），光生載流子的生成與複合機製，器件吸收和電荷生成的微區特性，光電（diàn）材料界（jiè）麵以及半導體結區的品質分布等特性（xìng）。

STS係列拉曼/熒光/光（guāng）電流綜合測試係（xì）統技術參數

Raman與 Raman Mapping	Raman 光譜範圍	80-9000cm-1 @532激光器
	共焦方式	針孔共聚焦
	靈敏度	矽三階拉曼峰的信噪比好於20:1，並能觀察到四階峰
	空間分辨率	≤1μm@100X物鏡，NA0.9，532nm單縱模（mó）激光（guāng）器
	光譜CCD探測器	分辨率≥2000x256 量子效率在700nm-870nm區間處>90%，光譜範（fàn）圍：200 ~ 1100 nm
熒光 PLMapping 與 FLIM	光譜掃描範（fàn）圍	200-900nm
	最（zuì）小時間分辨率	2ps或16ps可選
	熒光壽命測量範圍	100ps-10μs
	激光器波長（zhǎng）	193nm/195nm/213nm/266nm/375nm/405nm等多波長穩態與瞬態激光器可（kě）選
	空間分辨率	≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈衝激光器（qì）
	位移（yí）台範圍	掃描範（fàn）圍大於300x300mm^2，最小分辨率1um
光電流 Mapping	激光器	標配532nm激光器（qì），也可以（yǐ）選擇其他波長激光器例如405nm/633nm/785nm等
	光路	振（zhèn）鏡光路設計，可以兼容低溫台（tái）
	掃描範圍	掃（sǎo）描範圍大於200×200 μm2 最小分辨率1 μm。
	數據采集	電流源表：Keithley 2450 測量範圍：1nA – 1A 暗噪聲：50pA 分辨（biàn）率：20fA 準確度： 0.03% 也可以根（gēn）據用戶（hù）需求選擇（zé）




	探針台	直徑65mm真空吸（xī）附（fù）卡盤探針座和樣品整（zhěng）體二維移（yí）動，方便樣品位置與光斑（bān）位置重合樣品位置單獨二維移動，方（fāng）便同類樣品更（gèng）換樣品位（wèi）置移動行程25mm，分辨（biàn）率5μm 探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探針：鎢針（zhēn），直（zhí）徑（jìng）5μm，10μm，20μm可選





	測試功能	光電流掃描（Mapping）：可以設定固定的電壓，逐點獲取電流（liú）值 I-V曲線掃描（Mapping）：可以設定指定的電壓區間，逐點獲取I-V曲線
	測試功能
低溫台	77k-300k，其餘溫度（dù）可選，電學接口可選
瞬態光電流/光電壓（yā）測試	可以增加脈衝激光器例如ns脈（mò）衝YAG激光（guāng）器 , 進行瞬態光電流/光電壓測試
自動聚焦	激光自動聚焦	自主研製的激光輔（fǔ）助離焦量傳感器。可在無圖案晶圓上實現精確自動聚焦和表麵跟蹤。輔以（yǐ）圖形邊緣識別，實現雙模式自動調焦。
	明場成像（xiàng）與照明係統	自主研製的小型化科勒照（zhào）明係（xì）統。照明視場（chǎng）均勻、無暗角，成像視場中心和邊角均有高對比度和解析度。
	全自動操作	全軟件控製（zhì），自動調焦、尋區、切換物鏡
	對焦精（jīng）度	在全（quán）掃描範圍自動聚焦和實時（shí）表（biǎo）麵跟蹤對焦精度<0.2 μm
晶圓測試	樣（yàng）品台	8時吸氣台(12時可定製)可（kě）兼容（róng）2、4、6、8吋（duò）晶圓片
晶圓測試	功能	應力測試，載流子濃度，缺陷檢測等
軟件分（fèn）析（xī）	可對光譜峰位、峰高和半高寬等進行擬合。可自動擬合並計（jì）算應力、晶化（huà）率、載（zǎi）流子濃度等信息，樣（yàng）品數據庫可定製（zhì）。主成分分析(PCA)和k-均值聚（jù）類處理模塊。將擬合結（jié）果以二維圖像方式顯示。