飛秒微加工係統 

飛秒微加工係統方案

激光（guāng）的發明加快（kuài）了人類文明的進步。激（jī）光以其（qí）高相幹性，高能量等（děng）特點，使其已經廣泛應用於人類生（shēng）活的各個領域，例如激光（guāng）焊接，激光測距，激光雷達等等。其中激光加工也是一個重要領域。傳統的激光加工一般使用納秒量級（jí）脈衝激（jī）光或是像CO2激光（10.6um）這樣的強（qiáng）激光，隨著飛秒激光的逐漸普及，使用成本逐漸降低，使用飛秒激光作為加工光源也越來越受到（dào）關注。

飛秒激光加工的特點主（zhǔ）要有（yǒu）：

1，飛秒激光脈衝與材料相互作用時間在一個非常短的時間（jiān）（飛秒量級），因此可以實現材料的冷加工，

    2，飛秒激光可以聚（jù）焦到透明材料的內部，實現真正（zhèng）的三維微加工，

3，超快激光可以使材料（liào）發生多（duō）光子吸收，可以突破光學衍射極限進行加工，

飛（fēi）秒微加工的研究領域（yù）：

1. 可用於飛秒3D打印，雙光子聚（jù）合等加工技術。
2. 可用於切割，打孔，燒蝕，表麵微結構等加工技術。由於飛（fēi）秒激光持續時間很短（duǎn），可以在易碎易燃材（cái）料上獲得高質量的燒（shāo）蝕形貌
3. 用於材料的內部改性處理。例（lì）如用飛秒激光在玻璃內部（bù）進行光波導直寫，光存儲（chǔ）以及新相材（cái）料的製作

   飛秒激光直（zhí）寫加工係統一般根據製作方式可分為基於掃描振鏡方式和基於樣品位移台兩種。掃描振鏡的方式其優點在於加（jiā）工精度很高，但是加工的範圍有限

基於樣（yàng）品位移台的則可以分為（wéi）：1，使用（yòng）高質量三維壓電位移台，可以（yǐ）獲（huò）得亞納米級別的精度（dù），範圍可以（yǐ）到幾百微米。2，使用高質量的電機驅動的直線氣浮平台。其優點在於移動範圍可以達到幾（jǐ）厘米。

www.91光基於多（duō）年的顯微拉曼熒光係統，結合高功率飛秒激光，推出飛秒激光直寫加工係統！

 圖1：飛秒加（jiā）工直寫係統（tǒng）簡（jiǎn）圖

圖2：顯微係統簡圖

飛秒激光推薦方案：

激（jī）光器中心波長（zhǎng）：1030nm,

輸出功率： >=20W@ 50-200KHZ, >400uJ@1-50KHz,

  脈寬：<290fs ;

一體化免維護（hù）設計（jì）；

三維位移台推薦方案：

 

室（shì）溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列（liè）“ ⼤⾏程掃描（miáo）載物台 — 精密光學，半（bàn）導體表征

⼤範圍壓電掃描（miáo）台Carrier.S200.XY產品特⾊

• 兩維度（dù）XY 掃描運動 200 um × 200 um；

• 閉環定位精度優於 1nm；

• 最⼤負載 500 g；

• 針對（duì）光學（xué）顯微鏡-超分辨定製化解（jiě）決⽅案；

• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)選件升級

Carrier.S200.XY ⼤範圍壓電掃描台 — 技術（shù）參數

 

可選版本 ⇨	正常版本
.NM     絕對⽆磁版本； .HV，     ⾼真空版本 ; .UHV ，超⾼真空版本；
1           底⾯尺⼨*⾼度	180 mm × 150 mm × 20 mm
2           主體材料	鋁合⾦
3            中空透孔	80 mm × 60 mm
4           運動⾏程	200 um × 200 um
5            閉環分辨率	優於1nm
6           推薦最⼤負載	500 g
7            閉環傳感器	電（diàn）容式（shì）
8            電容精度	0.3 nm
9           壓電電容(X, Y)	6.5 uF
	15 到 40 攝⽒度
10          推薦使⽤溫度
11          質量	1 kg
12          安裝	螺紋孔⾃動兼容 Carrier.L7550.XY