光（guāng）學部（bù）分設計概述
定製樣品夾具（jù），帶手（shǒu）動傾斜校正（zhèng），可在顯微鏡下，通過對焦的清（qīng）晰度，對樣品盤進行手動傾斜校正，讓樣品在整個掃描範圍內，處於同一對焦麵（miàn）內，保證采用聚（jù）焦光斑測試時的穩定性。配備（bèi）兼容2寸的大範圍高精度自動掃（sǎo）描台，手動放片（piàn）後，掃描台托載晶片實（shí）現晶片上多（duō）點的自動掃描Mapping功能，步（bù）長精度<1μm，X方向運動範圍50mm，Y方向運動範圍50mm，Z方向運動範圍20mm。
顯微鏡可在顯微成像和光電（diàn）流兩（liǎng）種模式下切換，顯微模式下，物（wù）鏡轉輪切換到紫外（wài）消色差透鏡組，可通過微區顯微（wēi）鏡相機觀察微區圖像和激光（guāng）光斑，用戶可以通過顯微像確認樣品圖案是否對準、激光光斑聚焦情況、樣品是否傾斜（xié）等。
顯微鏡模組（zǔ）內通過激光采樣鏡和標準探測器，對激光能量波動進行檢測，用於補償光電流測試的結果。
可通過物鏡切換轉輪，在聚焦和非聚集的兩種情況下（xià）測（cè）量：聚焦時，光斑（bān）通過紫外消色（sè）差透鏡組聚焦到0.5mm以下，Mapping小範圍，測（cè）量探測器（qì）的不均勻性；不聚焦時，物鏡轉輪切換到通孔，直接用高斯光束照射樣品，通過光闌控製高斯光束的束寬，根據輸入的（de）版圖位置測量器件不同區域的響應度。激光包括193、266和355激光器，激光通過激發和收集模組、耦合光路模組傳輸到（dào）物（wù）鏡前端並聚焦，激光通過切換鏡進行切換。通過衰減片對能量進行衰減，通過光闌控製光束的束直徑。
氙燈和單色儀通過光纖接口接入耦合光路模組，經過深紫外透鏡組準直後，到達物鏡後，聚焦到樣品表麵，光斑直徑約200微米。
電學部分設計概述
穩態光源測試模（mó）式（shì）：穩態光源（等離子體光源+單色（sè）儀）照射（shè）下，標準探測器和（hé）待測樣品直接接偏壓，通過雙通道源表同時獲取（qǔ）光電流隨時間的變化。
脈衝光源測試模式:脈（mò）衝電學（xué）測試:脈衝激光照射下,標準探測器和待測樣（yàng）品接跨導放大器,將光電流轉化為電壓,通過（guò）多通道示波器同時獲取標探和待（dài）測樣品（pǐn）的電壓隨時間的變化。此時（shí）偏壓固定,由放大器提供偏壓。
係統規（guī）格
革命性（xìng）的插槽式並聯光路設計優（yōu）勢:
強大的光路穩定性：取消了傳統意義上的顯微鏡周邊（biān）冗餘，更加貼合光路穩定性要求比較（jiào）高的未來應用場景無限拓展的可能性：顯微（wēi）鏡光路，熒（yíng）光，RAMAN，振鏡掃描光電流光（guāng）路，不同（tóng）波長的熒光（guāng）與（yǔ）RAMAN測試，依次（cì）並聯，無限拓展
定量測試的高（gāo）準確度：激光功（gōng）率校準集成在顯微鏡模組中，通過測量激光采（cǎi）樣（yàng）鏡獲取的少量激光光強，可作為激（jī）光功率的實時（shí）校準和參（cān）考，並（bìng）通過集成在熒光和拉曼模組中的連續衰減片調節（jiē）光強。
更多的功能實現：熒光光強對於激發功率密度非常敏感，要準確的比（bǐ）較不同樣品（pǐn）的熒光光強（qiáng），需要（yào）應用翹曲度模組通過自動對焦，固（gù）定激（jī）發光斑的大小，同時通過激光功率校準來固定激發光強，最終（zhōng）保證（zhèng）了顯微共聚焦熒光光強的（de）穩定性（xìng）和可比較性。
智能化軟件平台（tái）和模塊化設（shè）計· 統一的軟件平台和模（mó）塊化（huà）設計 · 良好的適配不同的硬件設備：平移台、顯微成像裝置、光譜（pǔ）采集設備、自動聚焦裝置等
· 成（chéng）熟的功能化模（mó）塊：晶圓定位、光譜（pǔ）采集、掃描成像Mapping、3D層析，Raman Mapping，FLIM，PL Mapping，光（guāng）電流Mapping等。
· 智能（néng）化的數據（jù）處理模（mó）組：與數據擬合、機器學習、人工智能等結合的在線或離線數據處理模（mó）組，將光譜解析為成分、元素的（de）分布等，為客戶提供直觀的結（jié）果。可根（gēn）據客
· 戶需求定製光譜數據解析的流程和（hé）模組
· 可根據（jù）客戶（hù）需求進行定（dìng）製化的界麵設計和定製化的RECIPE流程設計，實現複雜的采集和數據處理功（gōng）能。
13810146393
在線谘詢
