
注 :
1.三軸係列無 L/R 尾綴
2. 設備不包含驅動器,需單獨采購 (DNXP-M/A),可以按需求混裝驅動
六軸高精度耦合台
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型號 |
NXP-6M |
NXP-6NP |
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行程 |
X、Y、Z直線行程為4mm。Rx、Ry、Rz(擺(bǎi)動、俯仰和偏轉(zhuǎn))行程為4°(70mrad) |
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傳動比(bǐ) |
X |
1:1.5 |
X軸和(hé)Y軸驅動和壓電傳動比相同(tóng),為1:1.5 驅動(dòng)器和壓電促動器每平移1μm,位移台平移1.5μm |
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Y |
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Z |
1:1 |
驅動的傳動比為1:1;壓電傳動比1:1.5 |
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分辨(biàn)率 |
見驅動 |
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旋轉(zhuǎn)中心 |
公(gōng)共旋轉中心;最大串擾100 μm |
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壓電 |
規(guī)格 |
無 |
閉環(huán)壓電 |
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行程 |
典型值19μm |
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分辨率 |
X、Y、Z 1nm/Rx、Ry、Rz0.018μrad |
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最大負載 |
1kg |
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共振頻率(lǜ) |
>130 Hz(±10%) |
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熱穩(wěn)定(dìng)性 |
1μm/℃ |
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型號 |
NXP-3M |
NXP-3NP |
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行程 |
4 mm |
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傳動比 |
1:1 |
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分辨率 |
見驅(qū)動 |
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串擾 |
≤100μm |
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頂板平行度 |
<100μm |
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壓電 |
規格 |
無 |
閉環壓電 |
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行程 |
典型值19μm |
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分辨率(lǜ) |
X、Y、Z 1nm |
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最大負載 |
1kg |
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共振頻率 |
>130 Hz(±10%) |
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熱穩定性 |
1um/℃ |
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型號 |
DNXP-M |
DNXP-A |
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驅動類型 |
手動 |
電動 |
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行程 |
13mm 與NXP係列設備配合(hé)使用後行程4mm |
8mm 與NXP係(xì)列設備配合使用後行程4mm |
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分辨率(lǜ) |
粗調10μm,微調0.5 μm |
整步125μm/半步0.625μm |
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電機 |
無 |
35步進電機(jī),步距角1.8° |
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限位 |
內置限位開關 |
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定位精度 |
雙向重複性為5.0μm |



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